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青禾晶元发布全球首台 C2W & W2W 双模式混合键合设备 SAB 82CWW

文 / 小亚 2025-03-12 14:39:03 来源:亚汇网

SAB82CWW系列采用一体化设备架构,支持C2W、W2W两种技术路线,这一设计提高了设备的通用性和灵活性,为用户带来了更大的选择空间。青禾晶元的SAB82CWW混合键合设备通过模块化设计实现了对8英寸(200mm)与12英寸(300mm)晶圆的兼容,可通过更换部件满足不同尺寸晶圆的键合需求。该设备能处理35μm的超薄芯片,也兼容从0.5mm见方到50mm见方的各式芯片;此外其能实现±30nm的对准精度和±100nm的键合精度,在C2W模式下单键合头的最高生产能力可达1000片/小时。青禾晶元认为其SAB82CWW系列混合键合设备有望在存储器、MicroLED显示、CIS(亚汇网注:即CMOS图像传感器)、光电集成等领域得到应用。广告声明:文内含有的对外跳转链接(包括不限于超链接、二维码、口令等形式),用于传递更多信息,节省甄选时间,结果仅供参考,亚汇网所有文章均包含本声明。

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